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型號

AWL046

AWL068

AWL812

晶圓尺寸

100mm / 150mm

150mm / 200mm

200mm / 300mm

晶圓最小厚度

150um

150um / 180um

180um / 250um

晶舟類型

Open Cassette

Open Cassette / FOUP、FOSB

檢查模式設置

全檢 / 奇數(shù)檢 / 偶數(shù)檢 / 手動選擇

晶舟掃描（有 / 無 / 斜片）

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晶舟內(nèi)凸片偵測報警

≥4mm

≥5mm

晶圓預定位（平邊、Notch）

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朝向設置（平邊、Notch）

非接觸式定位平邊、Notch，支持0°、90°、180°、270°朝向設置

檢查功能

晶面宏檢（旋轉）、晶背宏檢1（外圈、旋轉）、晶背宏檢2（中心）

晶面宏檢（旋轉）、晶背宏檢1（外圈）、晶背宏檢2（中心）

外觀尺寸（W*D*H）

1450*700*1600mm

1550*700*1600mm

2400*1400*2450mm

電源需求

1P / 220V / 10A

1P / 220V / 16A

真空需求（負壓 / 正壓）

-70KPA ～ -80KPA

-70KPA ～ -80KPA / 0.5MPA

適用顯微鏡

6RC/8RC金相顯微鏡

光學系統(tǒng)

無限遠色差校正光學系統(tǒng)，放大倍率50X-1000X

觀察方式

明場、暗場、偏光、DIC

目鏡

高眼點大視野平場目鏡PL10X22mm，可帶視度可調(diào)，可帶測微尺

高眼點大視野平場目鏡PL10X25mm，可帶視度可調(diào)，可帶測微尺

觀察頭

鉸鏈三目觀察筒，5-35度傾角可調(diào)，正像，瞳距調(diào)節(jié)范圍：50-76mm，兩檔式分光比，雙目：三目=100：0，0：100

鉸鏈三目觀察筒，0-35度傾角可調(diào)，正像，瞳距調(diào)節(jié)范圍：50-76mm，兩檔式分光比，雙目：三目=100：0，0：100

物鏡

長工作距平場明暗場半復消色差金相物鏡 5X / 10X / 20X / 50X / 100X

轉換器

明暗場6孔電動轉換器（帶DIC插槽）

機架

反射式機架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機構，粗調(diào)行程35mm，微調(diào)精度0.001mm，帶有防止下滑的松緊調(diào)節(jié)裝置和隨機上限位裝置，內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)

明暗場反射照明器，帶視場光闌，可變電動孔徑光闌，帶明暗場切換裝置，帶濾色片插槽與偏光裝置插槽，帶12V10W LED光源控制部件

明暗場反射照明器，帶視場光闌，可變電動孔徑光闌，帶明暗場切換裝置，帶濾色片及偏光裝置插槽，帶12V10W LED燈箱

載物臺

6英寸機械移動平臺，低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié)，晶圓承片臺臺面φ38mm，可360°旋轉，移動行程228mm(X方向)×170mm（Y方向），觀察范圍：170mmX170mm，帶離合器手柄

8英寸機械移動平臺，低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié)，晶圓承片臺臺面φ60mm，可360°旋轉，移動行程280mm（X方向）×210mm（Y方向），觀察范圍：210mm×210mm，帶離合器手柄

12英寸自動平臺，X、Y、Z、φ多方向調(diào)節(jié)，晶圓承片臺臺面φ70mm，可360°旋轉，移動行程600mm（X方向）×500mm（Y方向），觀察范圍：310mm×310mm，φ方向可±5度旋轉，各軸運動速度可以高低速切換

其他

濾色片插板、起/檢偏鏡插板、DIC組件、攝像接口、調(diào)整平臺、相機、專業(yè)晶圓檢查軟件等