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微分干涉顯微鏡(PDB檢測顯微鏡)DMM-1100C

透反射金相顯微鏡DMM-1100C,本儀器適合電子、冶金、化工和儀器儀表行業(yè)用于觀察半透明或不透明的物資,適合對太陽能電池硅片、半導(dǎo)體晶圓檢測、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析等

詳細(xì)介紹 技術(shù)參數(shù)

微分干涉顯微鏡(PDB檢測顯微鏡)DMM-1100C

一、DMM-110C透反射金相顯微鏡主要用途:

DMM-1100C型透反射金相顯微鏡采用優(yōu)良的無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)與模塊化的功能設(shè)計理念,可實現(xiàn)偏光觀察、明場觀察、反射暗場、透射觀察、反射微分干涉觀察功能。設(shè)計符合人機(jī)工程學(xué)要求的理想設(shè)計,低手位操作更方便舒適。適用于金相組織及表面形態(tài)的顯微觀察,本儀器適合電子、冶金、化工和儀器儀表行業(yè)用于觀察半透明或不透明的物資,適合對太陽能電池硅片、半導(dǎo)體晶圓檢測、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析等。

 

二、DMM-110C透反射金相顯微鏡的主要特點

1、采用優(yōu)良的無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng),提供卓越的光學(xué)性能,配無限遠(yuǎn)長工作距離物鏡,超寬目鏡觀察筒及φ22mm大視野目鏡.

2、低手位操作,降低長時間操作時的疲勞,儀器主體采用全白噴漆,美觀大方,采用內(nèi)六角螺釘固緊儀器連接部分,無任何裸露在外的螺釘.

3、三目鏡筒,可自由切換正常觀察與偏光、反射、透射、暗場、微分干涉觀察,可進(jìn)行100%透光攝影.

4、高像素數(shù)字成像系統(tǒng),電腦顯示成像真實清晰,多種攝像機(jī)和功能軟件可供選擇.

5、超低位粗微動同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),微動格值:2μm,帶鎖緊限位裝置,防止鏡頭碰觸樣品和載物臺自動下滑.

6、微分干涉相襯觀察時圖像清晰,干涉色均勻,具有較強(qiáng)的浮雕感.

 



三、DMM-1100C透反射金相顯微鏡技術(shù)參數(shù)及配置

 

參數(shù)規(guī)格

觀察鏡筒

鉸鏈?zhǔn)饺坑^察筒,30度傾斜,100%通光攝影。瞳距調(diào)節(jié)范圍:50-75mm,視度可調(diào)

目鏡

大視野目鏡WF10X(Ф22mm)    

大視野目鏡WF15X(Ф16mm)  

大視野目鏡WF20X(Ф12mm)  

WF10X(Ф22mm)大視野分劃目鏡(0.10mm/格)

無限遠(yuǎn)長工作距離平場消色差物鏡

明視場/暗視場金相物鏡

PL L40X/0.60 BD 工作距離:3.0 mm

微分干涉物鏡(DIC)

LMPlan5X/0.12 DIC 工作距離:18.2 mm

LMPlan10X/0.25DIC 工作距離:20.2 mm

LMPlan20X/0.35DIC 工作距離:6.0mm

調(diào)焦系統(tǒng)

粗微動同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),微動格值:2μm,左調(diào)焦帶鎖緊裝置,右調(diào)焦帶限位裝置

載物臺

雙層機(jī)械式移動載物臺,外形尺寸:210mmX140mm,移動范圍75mmX50mm.

載物板

透光玻璃載物板,大?。?7*76mm

轉(zhuǎn)換器

五孔內(nèi)彎式物鏡轉(zhuǎn)換器(滾珠內(nèi)定位)

偏光裝置

插入式起偏、檢偏裝置,可360度旋轉(zhuǎn)檢偏鏡,起偏和檢偏均可移出光路

DIC調(diào)節(jié)系統(tǒng)

適用于 LMPlan5X/LMPlan10X/LMPlan20X  DIC物鏡

暗場裝置

推拉式暗場觀察拉桿,快速明視場暗視場觀察轉(zhuǎn)換

落射照明系統(tǒng)

12V50W鹵素?zé)?,亮度可調(diào)

落射式柯勒照明系統(tǒng),內(nèi)置視場光欄,孔徑光欄調(diào)節(jié)

可拆卸式燈箱,雙引腳插入式燈座,燈箱外有燈絲位置移動旋鈕

轉(zhuǎn)盤式藍(lán)、黃、綠、磨砂濾色片組

透射照明系統(tǒng)

12V30W 鹵素?zé)?亮度可調(diào)

阿貝聚光鏡NA.1.25,可調(diào)孔徑光欄,中心可調(diào),可上下升降

集光器:可調(diào)視場光欄

藍(lán)色和磨砂玻璃濾色片

電腦攝像系統(tǒng)

1X攝影接口,標(biāo)準(zhǔn)C接口

CK-500數(shù)字?jǐn)z像系統(tǒng),分辨率:2592X1944, 芯片尺寸:1/2.5", USB2.0連接,  圖像質(zhì)量好 ,色彩還原性好 ,圖像穩(wěn)定,有多種圖像處理方式(詳細(xì)參數(shù)見CK-500攝像機(jī)介紹)

、系統(tǒng)的組成 

           1、金相顯微鏡DMM-1100        2、電腦適配鏡 

3、彩色數(shù)字?jǐn)z像器CK-500             4、計算機(jī)(選購)


五、儀器選購件:

1、無限遠(yuǎn)長距平場消色差明暗場物鏡: PLL50X; PLL60X ;PLL80X;PL100X

2、攝影接口:0.5X攝像接口

3、攝像機(jī): CK-1600像素攝像機(jī),進(jìn)口CCD芯片攝像系統(tǒng)

4、數(shù)碼相機(jī)拍照系統(tǒng):包含數(shù)碼相機(jī)及專業(yè)相機(jī)接口

5、金相分析軟件DM-3000



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