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DMM-1200微分干涉金相顯微鏡(DIC)采用優(yōu)質(zhì)的無限遠光學系統(tǒng),微分干涉相襯顯微鏡適用于對多種物體的顯微觀察。配置落射DIC觀察系統(tǒng)與透射照明系統(tǒng)、無限遠長距平場消色差物鏡、大視野目鏡和偏光觀察裝置,具有圖像立體感且清晰、造型美觀,操作方便等特點,是生物學、金屬學、礦物學、精密工程學、電子學等研究的理想儀器,可選用微分干涉(DIC)觀測、獲得高清晰的圖像,使圖像襯度更好,是針對半導體晶圓檢測、太陽能硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的,作為高級工業(yè)金相顯微鏡使用;可進行明場觀察、落射偏光、DIC觀察,廣泛用于工廠、研究機構(gòu)、高等院校對太陽能電池硅片、半導體晶圓檢測、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析。
一、 DMM-1200C型微分干涉金相顯微鏡的主要用途和特點:
DMM-1200微分干涉金相顯微鏡(DIC)采用優(yōu)質(zhì)的無限遠光學系統(tǒng),微分干涉相襯顯微鏡適用于對多種物體的顯微觀察。配置落射DIC觀察系統(tǒng)與透射照明系統(tǒng)、無限遠長距平場消色差物鏡、大視野目鏡和偏光觀察裝置,具有圖像立體感且清晰、造型美觀,操作方便等特點,是生物學、金屬學、礦物學、精密工程學、電子學等研究的理想儀器,可選用微分干涉(DIC)觀測、獲得高清晰的圖像,使圖像襯度更好,是針對半導體晶圓檢測、太陽能硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的,作為高級工業(yè)金相顯微鏡使用;可進行明場觀察、落射偏光、DIC觀察,廣泛用于工廠、研究機構(gòu)、高等院校對太陽能電池硅片、半導體晶圓檢測、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析。
DMM-1200C電腦型微分干涉金相顯微鏡是將精銳的光學顯微鏡技術(shù)、先進的光電轉(zhuǎn)換技術(shù)、尖端的計算機成像技術(shù)完美地結(jié)合在一起而開發(fā)研制成功的一項高科技產(chǎn)品。既可人工觀察金相圖像,又可以在計算機上很方便地適時觀察金相圖像,并可隨時拍攝記錄金相圖片,從而對金相圖譜進行分析,評級等,還可以保存或打印出高像素金相照片。
二、微分干涉金相顯微鏡儀器的主要技術(shù)指標
金相顯微鏡組件及規(guī)格 |
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光學系統(tǒng) |
無窮遠光學系統(tǒng) |
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主機 |
DMM-1200正置金相顯微鏡主機 |
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目鏡 |
大視野 |
WF10X(Φ22mm) |
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WF15X(Φ16mm) |
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WF20X(Φ12mm) |
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平場分劃 |
10X/Φ20mm(0.10mm/格值) |
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物鏡 |
無限遠長工作距離平場消色差 |
放大倍數(shù)/數(shù)值孔徑 |
有效工作距離 |
PL5X/0.12 |
26.1 |
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PLL10X/0.25 |
20.2 |
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PLL20X/0.4 |
8.8 |
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PLL40X/0.6 |
3.98 |
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目鏡筒 |
三目鏡 |
鉸鏈式,傾斜30度,分光比:觀察80% 攝影20%;或觀察100% 攝影100% |
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濾片組 |
全系列濾色片 |
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物鏡轉(zhuǎn)換器 |
五孔物鏡轉(zhuǎn)換器(內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位) |
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調(diào)焦機構(gòu) |
同軸粗微動調(diào)焦機構(gòu),帶鎖緊和限位裝置, 調(diào)焦范圍30mm 微動格值0.8μm |
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載物臺 |
臺面尺寸:280mm*270mm; |
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移動范圍:橫向(X)204mm,縱向(Y)204mm |
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照明系統(tǒng) |
落射照明12V/50W,鹵素燈,中心、亮度連續(xù)可調(diào) |
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透射照明大功率LED燈照明,亮度可調(diào),阿貝聚光鏡 NA.1.25 可上下升降,藍濾色片和磨砂玻璃,集光器(內(nèi)置視場光欄) |
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偏光裝置 |
起偏振器,可360度旋轉(zhuǎn),可推拉切換 |
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檢偏振器,可推拉切換 |
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微分干涉觀察 |
可使用于5X、10X、20X |
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電腦型攝像系統(tǒng)CK-500 |
500萬像素數(shù)字成像系統(tǒng),最高分辨率2592H x 1944V 連接簡單:USB2.0 圖像質(zhì)量好,色彩還原性好 ,圖像穩(wěn)定,具備多種圖像處理方法。攝像機相關(guān)參數(shù):500萬像素數(shù)字攝像機,標準C接口,倍率:1X 傳感器類型:MT9T001 鏡頭接口:標準C接口 掃描模式: 逐行掃描 CCD尺寸:1/2英寸 像素點:3.2微米 x 3.2微米 動態(tài)范圍>61dB 分辨率:2592H x 1944V 濾光片: R, G, B 濾光片 最大幀率: 8幀每秒(2592*1944) 30幀每秒(640*480) 曝光控制:自動、手動 信噪比:43dB 電源:USB供電 曝光時間: 1毫秒-0.3秒 參數(shù)調(diào)整:圖像尺寸、亮度、增益、曝光、色彩等 白平衡:自動、手動 USB 電源: USB2.0
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四、系統(tǒng)的組成 :
1、金相顯微鏡DMM-1200 2、0.5倍電腦適配鏡
3、彩色數(shù)字攝像機CK-500 4、計算機(選購)
五、儀器選購件:
1、無限遠長距平場消色差明暗場物鏡: PLL50X; PLL60X ;PLL80X;PL100X
2、攝影接口:0.5X攝像接口
3、攝像機: CK-1600像素攝像機,進口CCD芯片攝像系統(tǒng)
4、數(shù)碼相機拍照系統(tǒng):包含數(shù)碼相機及專業(yè)相機接口
5、金相分析軟件DM-3000